陕西外资企业的设立流程具体如下：

1、申领设立外商投资企业的批准证书。首先需要申报项目立项，接着提交可行性报告、合同、章程，向外经贸审批机关申请审批，取得批准证书。

2、办理工商注册登记。在取得外商投资企业批准证书之前，要先进行企业名称预先核准。填写《企业(公司)名称预先核准申请书》，并由股东签名或盖章(自然人股东签名、法人股东盖章)向工商部门申请企业公司名称保留，取得《企业(公司)名称预先核准通知书》。

3、办理组织机构代码手续。外商投资企业取得营业执照后，应当向技术监督管理局申领组织机构代码证。需提交以下材料：《组织机构代码申报表》、批准证书原件及复印件、营业执照副本原件及复印件、法定代表人身份证或者护照及复印件。

4、办理用地手续。通过签订土地使用协议或者厂房租赁协议取得外商投资企业生产场地。外商投资企业获得土地使用权需到国土房产管理部门办理用地手续。

5、办理外汇登记手续。外商投资企业自营业执照颁发之日起30天内，向注册地外汇管理局办理外汇登记手续，领取《外商投资企业外汇登记证》，需提交以下材料(复印件)：审批机关批准生效的合同、章程；审批机关核发的批准证书；工商行政管理局颁发的营业执照及副本等。外汇管理局审核上述文件后，填写并颁发《外商投资企业外汇登记证》。

6、银行开户。

(1)开立外汇账户。

(2)开立人民币账户。

7、税务登记。外商投资企业应在领取营业执照之日起30日内，持以下材料(复印件)向主管税务机关申报办理税务登记：工商行政管理局颁发的营业执照副本；合同、章程及其批准文件；审批机关核发的批准文件；可行性研究报告及批准文件；企业董事会组成名单等。

8、海关备案手续。外商投资企业报关注册需提交以下材料：审批机关核发的批准证书；工商行政管理局颁发的工商营业执照；企业合同、章程；批准进口设备清单；企业验资报告等。

进出口货物征免税审批需提交以下材料：进出口货物征免税申请表；货物发票；进出口许可证影印件等。

二、外资企业登记申请书之中需要包含哪些内容？

外资企业登记申请书之中需要包含的内容具体如下：

《中华人民共和国外资企业法实施细则》第十四条设立外资企业的申请书应当包括下列内容：

(一)外国投资者的姓名或者名称、住所、注册地和法定代表人的姓名、国籍、职务；

(二)拟设立外资企业的名称、住所；

(三)经营范围、产品品种和生产规模；

(四)拟设立外资企业的投资总额、注册资本、资金来源、出资方式和期限；

(五)拟设立外资企业的组织形式和机构、法定代表人；

(六)采用的主要生产设备及其新旧程度、生产技术、工艺水平及其来源；

(七)产品的销售方向、地区和销售渠道、方式；

(八)外汇资金的收支安排；

(九)有关机构设置和人员编制，职工的招用、培训、工资、福利、保险、劳动保护等事项的安排；

(十)可能造成环境污染的程度和解决措施；

(十一)场地选择和用地面积；

(十二)基本建设和生产经营所需资金、能源、原材料及其解决办法；

(十三)项目实施的进度计划；

(十四)拟设立外资企业的经营期限。